Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2001.06a
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- Pages.15-16
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- 2001
Study of TiN coating process at Room temperature by Inductively Coupled Plasma assisted DC magnetron sputtering
유도결합 플라즈마 스퍼터링법을 이용한 상온에서의 TiN막의 증착에 관한 연구
Abstract
Keywords