TaNx 박막의 X-선 회절법에 의한 결정구조 해석

  • 이동윤 (한국전기연구원 전자기소자연구그룹) ;
  • 허정섭 (한국전기연구원 전자기소자연구그룹) ;
  • 김인성 (한국전기연구원 전자기소자연구그룹) ;
  • 송재성 (한국전기연구원 전자기소자연구그룹)
  • Published : 2001.05.01