Proceedings of the Korea Crystallographic Association Conference (한국결정학회:학술대회논문집)

Korean Crystallographic Association (한국결정학회)
권호 표지

Total Thickness Variance and Site Flatness Study of Polished Single Crystal Silicon Wafer

  • 오한석 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 이홍림 (연세대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2001.05.01
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Abstract

Keywords