Micro-Raman spectroscopy analysis for single crystal silicon using scratching test

  • 정성민 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 오한석 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 박성은 (연세대학교 세라믹공학과) ;
  • 이홍림 (연세대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2001.05.01