Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference (한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집)
- 2001.07a
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- Pages.110-113
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- 2001
Study on the Surface Reaction of Pt thin Film with $SF_6/Ar and Cl_2/Ar$ plasma gases
Pt 박막의 $SF_6/Ar과 Cl_2/Ar4$ 플라즈마 가스와의 표면반응에 관한 연구
Abstract
ECR(electron cyclotron resonance) 플라즈마 식각 장비를 이용하여 SF
Keywords