한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

건식산화에 의한 GaN박막의 산화막특성

Properties of the oxide layer on GaN epilzyers in dry oxygen

  • 김재균 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 변동진 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 박용주 (한국과학기술연구원 나노소자연구센터) ;
  • 김은규 (한국과학기술연구원 나노소자연구센터) ;
  • 김범준 (한국과학기술연구원 나노소자연구센터) ;
  • 고의관 (옵토웨이퍼테크(주))
  • 발행 : 2001.11.01
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