Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2001.11a
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- Pages.165-165
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- 2001
Effects of $H_2$ plasma pretreatment on diamond thin film grown by hot-fimament CVD
HFCVD에 의해 성장된 다이아몬드 박막에 미치는 수소 플라즈마 전처리 영향
Abstract
Keywords