한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

저유전 SiCOH/$C_xH_y$ 이중상 박막의 원거리 플라즈마 화학증착

RPECVD of Low-K SiCOH/$C_xH_y$ dual phase film

  • 발행 : 2001.11.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드