한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

MEMS 기술을 이용한 박막형 적외선 검출기 제작

Fabrication of thin film type infrared detector using MEMS technology

  • 홍경일 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 김승범 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 김상진 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 김영진 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2001.11.01
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