수치 해석법과 유한 요소법을 사용한 SMD 32.768 kHz Tuning Fork-Type 수정 진동자 설계 및 포토리소그라피 방법으로 제작된 샘플의 시험 평가

Analytical and Finite Element Method Investigation of SMD 32.768 kHz Tuning Fork-Type Crystals and Experimental Test of Samples Manufactured Using Photolithography

  • 이성규 (아주대학교 대학원 분자과학기술학과) ;
  • 문양호 (삼성전기(주) 종합연구소 CAE Project)
  • 발행 : 2001.11.01