나노인덴테이션을 이용한 ITO 박막의 특성 평가

Characterization of ITO thin film by Nanoindentation

  • 김봉섭 (경남대학교 대학원 재료공학과) ;
  • 윤존도 (경남대학교 대학원 재료공학과)
  • 발행 : 2001.11.01