한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)

권호 표지

단원자증착법을 이용한 $SrTiO_3$ 박막의 증착 및 특성 평가

Deposition and characterization of $SrTiO_3$ thin films by atomic layer deposition

김성근 (서울대학교 재료공학부) ;
권오성 (서울대학교 재료공학부) ;
황철성 (서울대학교 재료공학부) ;
현광수 (에버테크) ;
정재학 (에버테크) ;
최형섭 (에버테크) ;
박철수 (에버테크) ;
박세윤 (에버테크)

발행 : 2001.11.01

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