Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2001.11a
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Pages.65-65
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2001

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Fatigue endurance of the PECVD-PZT films prepared on Ir electrodes

Ir 전극 위에 증착한 PECVD-PZT 박막의 fatigue 특성에 관한 연구

이희철 (KAIST 재료공학과) ;
이원종 (KAIST 재료공학과)

Published : 2001.11.01

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Abstract

Keywords