한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

극자외선 노광 공정요 Mo-Si 반사형 다층 박막의 특성 연구

Study on Mo/Si Reflective Multialyer for Extreme Ultraviolet Lithorgraphy

  • 허성민 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 김형준 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 이승윤 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 윤종승 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 안진호 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 강인용 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 정용재 (한양대학교 세라믹공학과)
  • 발행 : 2001.11.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드