Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Etching characteristics of platinum film using $SF_6/Ar$ plasma for high-k capacitor electrode applications

$SF_6/Ar$플라즈마를 사용한 캐패시터 전극용 백금 박막의 식각 특성

  • 주섭열 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 황재희 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 김상훈 (한양대학교 신소재공학부) ;
  • 안진호 (한양대학교 신소재공학부)
  • Published : 2001.11.01
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Abstract

Keywords