A study on the fabrication of Ca-doped $YCrO_3$ thin films and their electrical properties by RF Magnetron Sputtering

스퍼터링을 이용한 Ca 첨가된 YCrO$_3$ 박막 제조 및 전기적 특성 연구

  • 허기석 (전남대학교 무기재료공학과) ;
  • 김상헌 (전남대학교 무기재료공학과) ;
  • 김진혁 (전남대학교 무기재료공학과) ;
  • 문종하 (전남대학교 무기재료공학과) ;
  • 박현수 (전남대학교 무기재료공학과) ;
  • 이병택 (전남대학교 금속공학과)
  • Published : 2001.05.01