Microsturcture control of copper films by addition of molybdenum in an advanced metallization process

Mo 첨가에 의한 구리 박막의 미세구조 제어

  • 장종호 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 이재갑 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 이원희 (세종대학교 신소재공학부)
  • Published : 2001.05.01