Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2001.05a
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- Pages.102-102
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- 2001
Manostructural and Optical Features of Nano-crystalline Si Fims preparted by PECVD and RF Magnetron Sputter Techniques
PECVD 및 RF마그네트론 스퍼터 기법을 이용하여 제조된 나도 결정 Si 박막의 나노구조 및 광학적 특성
Abstract
Keywords