Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Diffusion barrier properties of Zr(Si)N films in Cu/Zr(Si)N/Si structure

Cu/Zr(Si)N/Si 구조에서 Zr(Si)N 박막의 확산방지 특성

  • 김좌연 (호서대학교 신소재공학과) ;
  • 조병철 (호서대학교 신소재공학과) ;
  • 이희환 (호서대학교 신소재공학과) ;
  • 윤의중 (호서대학교 전기공학부) ;
  • 채상훈 (호서대학교 전기공학부) ;
  • 박경순 (세종대학교 신소재공학부) ;
  • 최상욱 (한국과학기술연구원 촉진수송분리막연구단)
  • Published : 2001.05.01
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Abstract

Keywords