Deposition of $Bi_{4-x}La_xTi_3O_{12}$ thin film using DLI-MOCVD and evaluation of precursors

DLI-MOCVD를 이용한 $Bi_{4-x}La_xTi_3O_{12}$ 박막의 증착과 전구체 평가

  • 강상우 (포항공과대학교 화학공학과) ;
  • 이시우 (포항공과대학교 화학공학과)
  • Published : 2001.05.01