Characteristics of Pt/SBT/$Ta_2O_5$/Si (MFIS) and Pt/SBT/$Ta_2O_5$/SiNx/Si (MFINS) Structure Gate Capacitors for NDRO type FeRAM Applications

NDRO형 FeRAM용 MeFIS와 MeFINS 구조의 게이트 캐퍼시터 특성

  • 민형섭 (국민대학교 금속재료공학부) ;
  • 김지영 (국민대학교 금속재료공학부)
  • Published : 2001.05.01