Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2001.05a
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Pages.82-82
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2001

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Electrical properties of hafnium dioxide gate dielectrics by atomic layer deposition

원자층증착법을 이용한 Hafnium dioxide 박막의 전기적 특성

이태호 (한양대학교 재료공학과) ;
김영배 (한양대학교 재료공학과) ;
오재민 (한양대학교 재료공학과) ;
최덕균 (한양대학교 재료공학과) ;
안진호 (한양대학교 재료공학과)

Published : 2001.05.01

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Abstract

Keywords