Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2001.05a
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Pages.78-78
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2001

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Characteristics of Mo Thin Films by DC Sputtering Method

DC Sputtering 방법을 이용한 몰리브덴 박막의 특성

김석기 (한국에너지기술연구원) ;
이정철 (한국에너지기술연구원) ;
강기환 (한국에너지기술연구원) ;
윤경훈 (한국에너지기술연구원) ;
박이준 (한국에너지기술연구원) ;
송진수 (한국에너지기술연구원) ;
한상옥 (충남대학교)

Published : 2001.05.01

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Abstract

Keywords