Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2001.05a
- /
- Pages.72-72
- /
- 2001
Characterization of Field Aided Lateral Crystallization of amorphous silicon films using Cu
Cu를 이용한 비정질 실리콘의 전계 유도 방향성 결정화 특성분석
Abstract
Keywords