Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

The Characterization of Re-used Oxide CMP Slurry Using Filter

Filter를 사용한 재생된 산화막 CMP용 슬러리의 특성에 대한 연구

  • 김명식 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 엄대홍 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 류흥기 (뉴영 M.Tech.Co., LTD)
  • Published : 2001.05.01
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Abstract

Keywords