Evaluation of (Ba,Sr))$RuO_3$ for Oxygen Diffusion Barrier and Introduction of (Ba,Sr))$RuO_3$/Ru Bilayer

(Ba,Sr)$TiO_3$ 용 (Ba,Sr)$RuO_3$ 전극의 산소 확산 평가 및 (Ba,Sr)RuO$_3$/Ru Bilayer의 도입

  • Published : 2001.05.01