Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2001.05a
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Pages.61-61
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2001

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

PZT Patterning using Ion Milling Process for Micro Piezoelectric Actuator Fabrication

마이크로 압전 엑츄에이터 제조를 위한 PZT 박막의 이온 밀링 식각 공정 연구

박준식 (전자부품연구원) ;
김대식 (전자부품연구원) ;
박광범 (전자부품연구원) ;
박효덕 (전자부품연구원) ;
장연태 (아주대학교) ;
강성군 (한양대학교)

Published : 2001.05.01

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Abstract

Keywords