The Electrical Properties and Residual Stress of Pb(Zr, Ti)$O_3$Piezoelectric Thin Films fabricated by 2-Step Deposition Method

2단계 증착법으로 제조한 Pb(Zr, Ti)$O_3$ 압전 박막의 전기적 특성 및 잔류 응력에 관한 연구

  • Published : 2001.05.01