Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2001.05a
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- Pages.25-25
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- 2001
Effect of Residual Stress on Electrical Properties of Sputtered Pb(Zr, Ti)$O_3$ Thin Films
잔류응력이 미치는 PZT 박막의 전기적 특성 연구
Abstract
Keywords