한국전기전자재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference)
- 한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집
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- Pages.275-278
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- 2001
유도결합 플라즈마를 이용한 PZT/전극의 식각 후 전기적 특성
Electrical Characterization of PZT and Electrodes after Dry Etching in Inductively Coupled plasma
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김경태
(중앙대학교 전기전자공학부) ;
- 강명구 (중앙대학교 전기전자공학부) ;
- 박영 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
- 송준태 (성균관대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
- 이철인 (안산공과대학 전기과) ;
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장의구
(중앙대학교 전기전자공학부) ;
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김창일
(중앙대학교 전기전자공학부)
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Kim, Kyung-Tae
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- Kang, Myoung-Gu ;
- Park, Young ;
- Song, Jun-Tae ;
- Lee, Cheol-In ;
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Jang, Eui-Goo
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Kim, Chang-Il
- 발행 : 2001.07.01
초록
Ferroelectric PZT thin films were fabricated on the RuO