Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2001.07c
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- Pages.1914-1917
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- 2001
Fabrication Method of 3D Feed Horn Shape MEMS Antenna Array Using MRPBI(Mirror Reflected Parallel Beam Illuminator) with Inclined X-Y-Z Stage
MRPBI를 이용한 3D Feed Horn Shape MEMS Antenna Array의 제조
- Park, Jong-Yeon (KIST, Microsystem Research Center) ;
- Kim, Kun-Tae (KIST, Microsystem Research Center) ;
-
Moon, Sung
(KIST, Microsystem Research Center)
;
- Pak, Jung-Ho (Dept of Electrical Engineering, Korea Univ.) ;
-
Park, Jong-Oh
(KIST, Microsystem Research Center)
- 박종연 (한국과학기술연구원 마이크로시스템연구센터) ;
- 김근태 (한국과학기술연구원 마이크로시스템연구센터) ;
-
문성욱
(한국과학기술연구원 마이크로시스템연구센터)
;
- 박정호 (고려대학교 전기공학과) ;
-
박종오
(한국과학기술연구원 마이크로시스템연구센터)
- Published : 2001.07.18
Abstract
3D Feed Horn Shape MEMS Antenna Array는 적외선 이미지 소자 또는 Tera hertz band 등에서 많은 응용을 할 수 있는 장점을 가진 MEMS 구조체 이다. 하지만 일반적인 MEMS 공정을 이용해서 3D Feed Horn Shape MEMS antenna array를 구현하기는 적합하지 않았다. 본 논문에서는 마스크와 웨이퍼가 일체 된 형태의 경사된 척이 초 저속으로 회전하면서 노광을 할 수 있는 새로운 방식과 미러 반사구조를 이용해서 평행광을 얻을수 있는 노광장치 (MRPBI : Mirror Reflected Parallel Beam Illuminator) System제작방법을 제안하였다. 3D Feed Horn Shape MEMS Antenna의 구조적인 high apect ratio의 특성에 의해서 SU-8과 PMER Negative Photo resist를 이용한 기본적인 실험을 통해 3D 구조체의 구현 가능성을 증명하였다. 또한 Microbolometer의 성능향상을 위한 이론적인 3D MEMS Antenna Model들을 HFSS(High Frequency Structure Simulator)을 이용해서 그 최적구조를 제안하고 3D MEMS Antenna Gain 값을 비교 분석하였다.
Keywords