Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 2001.07c
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- Pages.1908-1910
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- 2001
Measurements of ${CO_3}^{2-}$ ion concentration using porous silicon diaphragm coated with LDPE film
LDPE 필름으로 코팅된 다공질 실리콘 다이어프램을 이용한 탄산칼륨 용역내의 ${CO_3}^{2-}$ 이온농도 측정
- Yang, Jung-Hoon (Korea University) ;
- Kang, Chul-Goo (Korea University) ;
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Jin, Joon-Hyung
(Korea University) ;
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Min, Nam-Ki
(Korea University) ;
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Hong, Suk-In
(Korea University)
- Published : 2001.07.18
Abstract
본 논문은 마이크로머시닝 기술을 이용하여 lift-off 공정으로 패턴닝 한 후 TMAH (Tetramethylammonium Hydroxide) 용액으로
Keywords