Characterization of $LiCoO_2$ thin films prepared by Liquid Source Misted Chemical Deposition(LSMCD)

액적화학증착법을 이용한 $LiCoO_2$ 박막 제조 및 특성분석

  • 김기웅 (한국과학기술원 화학공학과 초미세화학공정시스템연구센터) ;
  • 한규승 (충남대학교 정밀공업화학과) ;
  • 우성일 (한국과학기술원 화학공학과 초미세화학공정시스템연구센터)
  • Published : 2001.10.01