한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

화학기상법에 의한 대면적 SiC 증착층의 특성 제어

Property Control of the Chemical Vapor Deposited SiC Layer with large area

  • 김원주 (한국원자력연구소 기능성재료) ;
  • 이민용 (한국원자력연구소 기능성재료) ;
  • 김정일 (한국원자력연구소 기능성재료) ;
  • 홍계원 (한국원자력연구소 기능성재료) ;
  • 하조웅 (이노쎄라(주)) ;
  • 박지연 (한국원자력연구소 기능성재료)
  • 발행 : 2000.10.20
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