Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

Property Control of the Chemical Vapor Deposited SiC Layer with large area

화학기상법에 의한 대면적 SiC 증착층의 특성 제어

  • 김원주 (한국원자력연구소 기능성재료) ;
  • 이민용 (한국원자력연구소 기능성재료) ;
  • 김정일 (한국원자력연구소 기능성재료) ;
  • 홍계원 (한국원자력연구소 기능성재료) ;
  • 하조웅 (이노쎄라(주)) ;
  • 박지연 (한국원자력연구소 기능성재료)
  • Published : 2000.10.20
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Abstract

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