미세저장소자로의 응용을 위한 압전구동 마이크로 칸티레버의 제작

Fabrications of Piezoelectrically driven micro-cantilever for nano-storage systems

  • 안정렬 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 전성진 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 김동우 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이정욱 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 유지범 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이재찬 (성균관대학교 재료공학과)
  • 발행 : 2000.10.20