Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2000.10a
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- Pages.204.1-204
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- 2000
Fabrications of Piezoelectrically driven micro-cantilever for nano-storage systems
미세저장소자로의 응용을 위한 압전구동 마이크로 칸티레버의 제작
- An, Jeong-Ryeol ;
- Jeon, Seong-Jin ;
- Kim, Dong-U ;
- Lee, Jeong-Uk ;
- Yu, Ji-Beom ;
- Yeom, Geun-Yeong ;
- Lee, Jae-Chan
- 안정렬 (성균관대학교 재료공학과) ;
- 전성진 (성균관대학교 재료공학과) ;
- 김동우 (성균관대학교 재료공학과) ;
- 이정욱 (성균관대학교 재료공학과) ;
- 유지범 (성균관대학교 재료공학과) ;
- 염근영 (성균관대학교 재료공학과) ;
- 이재찬 (성균관대학교 재료공학과)
- Published : 2000.10.20
Abstract
Keywords