한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)
- 한국세라믹학회 2000년도 추계총회,초청강연,특별강연,연구발표회
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- Pages.203.1-203
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- 2000
TaSiN 산소 확산 방지막의 열적 안정성 및 전기적 특성에 관한 연구
Thermal Stability and Electrical Property of TaSiN Oxygen Diffusion Barrier
- 발행 : 2000.10.20