Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

2000.10a
/
Pages.193.1-193
/
2000

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)

권호 표지

The Synthesis of A Suitable Single Precursor for AlN Thin Films.

AlN 박막제조를 위한 단일전구체 합성

안창규 (아주대학교 재료공학과) ;
경제홍 (삼성전기(주)) ;
조성훈 (KIST) ;
한성환 (KIST) ;
최승철 (아주대학교 재료공학과)

Published : 2000.10.20

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords