한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)
- 한국세라믹학회 2000년도 추계총회,초청강연,특별강연,연구발표회
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- Pages.192.1-192
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- 2000
ECRPECVD법으로 증착한 SiOF 박막의 잔류응력 안정화에 관한 연구
A Study on the stabilization of residual stress in SiOF thin films deoposited by electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition
- 발행 : 2000.10.20