한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)

한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
권호 표지

R.F. Magnetron Reactive Sputtering법으로 증착한 ITO 박막의 밀도가 전기적성질에 미치는 영향

Effect of Film Density on the Electrical Properties of ITO Thin Films Deposited by R.F. Magnetron Reactive Sputtering

  • 유동주 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 최시경 (한국과학기술원 재료공학과)
  • 발행 : 2000.10.20
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