Observation of Cluster and Deposition Behavior in Metal Thin Film Deposition by Thermal Evaporation

열증발법을 이용한 금속 박막 증착에서 클러스터의 확인 및 증착 거동의 관찰

  • 이범석 (서울대학교 재료공학부) ;
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  • 황농문 (재료 미세조직 창의연구단) ;
  • 김도연 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 2000.10.20