한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)
- 한국세라믹학회 2000년도 추계총회,초청강연,특별강연,연구발표회
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- Pages.161.2-161
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- 2000
열처리에 따른 $ZrO_2$ 게이트 유전막의 특성
A characteristics of $ZrO_2$ gate dielectric upon annealing
- 발행 : 2000.10.20