Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)
- 2000.10a
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- Pages.159.1-159
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- 2000
Wet oxidation behavior of poly Si1-xGex
Poly Si1-xGex 박막의 습식 산화 거동에 관한 연구
- Kim, Jae-Jin ;
- Gang, Seong-Gwan ;
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Go, Dae-Hong
;
- Lee, Gi-Cheol ;
- Lee, Tae-Wan ;
- Lee, Yeong-Ho ;
- An, Tae-Hang ;
- Yeo, In-Seok
- 김재진 (연세대학교 세라믹공하과) ;
- 강성관 (연세대학교 세라믹공하과) ;
-
고대홍
(연세대학교 세라믹공하과)
;
- 이기철 (주성 엔지니어링) ;
- 이태완 (주성 엔지니어링) ;
- 이영호 (주성 엔지니어링) ;
- 안태항 (현대 전자 산업(주)) ;
- 여인석 (현대 전자 산업(주))
- Published : 2000.10.20
Abstract
Keywords