한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)
- 한국세라믹학회 2000년도 추계총회,초청강연,특별강연,연구발표회
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- Pages.100.1-100
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- 2000
Hexamethyldisilane(HMDS)을 이용한 3C-SiC의 증착 및 특성평가
The deposition and characterization of 3C-SiC using Hexamethyldisilane(HMDS) by LPCVD
- 발행 : 2000.10.20