Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

The deposition and characterization of 3C-SiC using Hexamethyldisilane(HMDS) by LPCVD

Hexamethyldisilane(HMDS)을 이용한 3C-SiC의 증착 및 특성평가

  • 전형태 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 주경 (한양대학교 세라믹공정연구센터) ;
  • 오근호 (한양대학교 세라믹공정연구센터)
  • Published : 2000.10.20
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Abstract

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