한국세라믹학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference)
- 한국세라믹학회 2000년도 추계총회,초청강연,특별강연,연구발표회
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- Pages.79.1-79
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- 2000
PECVD법에 의해 증착된 a-SiC:H 박막의 결정화 및 annealing 효과
Crystallization of a-SiC:H thin films deposited by PECVD and annealing effect
- 발행 : 2000.10.20