Photoelectrochemical etching of 6H-SiC wet etching

6H-SiC의 광전화학 습식식각특성

  • 송정균 (명지대학교 세라믹공학과) ;
  • 이병하 (명지대학교 세라믹공학과) ;
  • 신무환 (명지대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2000.10.20