전자빔증발법으로 제작된 ITO 박막의 전기적 및 광학적 특성

Electrical and Optical Properties of ITO Thin Films Prepared by Electron Beam Evaporation Method

  • 박인용 (계명대학교 재료공학과) ;
  • 조범래 (계명대학교 재료공학과) ;
  • 김정열 (위덕대학교 반도체공학과)
  • 발행 : 2000.10.20