Proceedings of the Korean Ceranic Society Conference (한국세라믹학회:학술대회논문집)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

The Effect of CMP Slurry on Electrical Properties of Langasite ( $La_3Ga_5SiO_{14}$ )

CMP 가공시 슬러리가 $La_3Ga_5SiO_{14}$의 전기적 특성에 미치는 영향

  • 윤인호 (고려대학교 재료금속공학부, 세라믹 공정연구센터 (CPRC)) ;
  • 장영일 (고려대학교 재료금속공학부, 세라믹 공정연구센터 (CPRC)) ;
  • 임대순 (고려대학교 재료금속공학부, 세라믹 공정연구센터 (CPRC))
  • Published : 2000.10.20
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Abstract

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